专利名称:一种高纯、高致密度三氧化钼靶材的制备方法专利类型:发明专利
发明人:崔玉青,席莎,周莎,朱琦,张晓,杨秦莉,李晶申请号:CN202011165637.8申请日:20201027公开号:CN112359336A公开日:20210212
摘要:本发明公开了一种高纯、高致密度三氧化钼靶材的制备方法,具体按照如下步骤实施:步骤1,将钼酸铵进行焙解处理,得到高纯三氧化钼;步骤2,将步骤1得到的高纯三氧化钼粉末装入模具内,进行气氛保护热压处理,得到高致密度三氧化钼坯料;步骤3,将步骤2得到的高致密度三氧化钼坯料在空气氛马弗炉内进行二次补氧;步骤4,将经过二次补氧处理的坯料进行机械加工和清洗,最终得到高纯三氧化钼靶材。本发明一种高纯、高致密度三氧化钼靶材的制备方法,能获得高纯度以及高致密度的三氧化钼靶材。
申请人:金堆城钼业股份有限公司
地址:710077 陕西省西安市高新区锦业一路88号
国籍:CN
代理机构:西安弘理专利事务所
代理人:涂秀清
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