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耐振动的加速度传感器结构

来源：爱够旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201380014121.5 （22）申请日 2013.01.11 （71）申请人村田电子有限公司

地址芬兰万塔

（10）申请公布号 CN104204815A

（43）申请公布日 2014.12.10

（72）发明人维勒-佩卡·吕特克宁

（74）专利代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司

代理人陈桂香

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

耐振动的加速度传感器结构

（57）摘要

一种MEMS结构，它包括锚固件(1)、弹簧

(2)和震动块(3)，所述震动块(3)通过所述弹簧而被悬挂至所述锚固件(1)以绕着转动轴枢转。通过在所述MEMS结构中包括了从所述震动块(3)延伸至所述锚固件(1)的弹簧结构(2、4、6)，减小了来自不想要的振动模的误差。所述弹簧结构(2、4、6)包括被连接至所述震动块(3)或者所述锚固件(1)的侧臂(4)。所述弹簧结构(2、4、6)的至少一部分是由在所述弹簧结构中沿与所述震动块的

所述转动轴平行的方向延伸的侧臂(4)形成的；且该至少一部分被连接至所述弹簧(2)的一端。

法律状态

法律状态公告日

2014-12-10 2015-01-07 2017-05-17

法律状态信息

公开

实质审查的生效授权

法律状态

公开

实质审查的生效授权

权利要求说明书

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说明书

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