专利名称：使用机器视觉检验系统中的可调谐透镜的多等级图
像聚焦
专利类型：发明专利发明人：R.K.布赖尔
申请号：CN201610592215.6申请日：20160725公开号：CN106482634A公开日：20170308
摘要：提供用于定义获取包括不同Z高度处的第一兴趣区域和第二兴趣区域的工件的多重曝光图像的操作的方法。通过包括用于周期性地调制聚焦位置的选通式照射和可变焦距透镜(例如可调谐声学梯度折射率透镜)的机器视觉检验系统获取多重曝光图像。在学习模式期间，确定用于选通式照射的实例的第一多重曝光定时值和第二多重曝光定时值，该第一和第二多重曝光定时值对应于产生用于第一兴趣区域和第二兴趣区域的充分图像聚焦的周期性地受调制聚焦位置的第一相位定时和第二相位定时。指示多重曝光定时差的数据得以记录并且随后(例如在运行模式期间)被利用，以定义用于获取与代表性工件相似的当前工件上的第一兴趣区域和第二兴趣区域的多重曝光图像的操作。
申请人：株式会社三丰
地址：日本神奈川县
国籍：JP
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：万里晴
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