专利名称：具有高灵敏度和高精确度的压力传感器器件专利类型：发明专利发明人：J-H.A.邱,S-H.S.陈申请号：CN201510247245.9申请日：20150515公开号：CN106092428A公开日：20161109
摘要：本发明涉及一种具有高灵敏度和高精确度的压力传感器器件。具体地，通过增加该传感器的灵敏度，增加从低压MEMS传感器输出的电压。通过使具有转角沟槽的低压传感器器件的膜板变薄，增加灵敏度。通过同时创建交叉加强件到膜板的底侧，降低通过使膜板变薄而增加的非线性。还可以添加缘边、锚固件和加强件衬垫，以进一步加固较薄的膜板并进一步降低压力非线性。
申请人：汽车系统公司
地址：美国密执安州
国籍：US
代理机构：中国专利代理()有限公司
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