专利名称：一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置专利类型：实用新型专利
发明人：赵霖,乐昀,于洋,金万宇,刘智超,郑晨达,郭奎宇,邱浩
明,王鹏,邱长春
申请号：CN201921132197.9申请日：20190718公开号：CN210495772U公开日：20200512
摘要：本实用新型属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本实用新型装置深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷杂质或其中某种或多种杂质。
申请人：大连中鼎化学有限公司
地址：116039 辽宁省大连市甘井子区辛艺街18号
国籍：CN
代理机构：大连智高专利事务所(特殊普通合伙)
代理人：胡景波
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