专利名称：溅射装置及方法专利类型：发明专利
发明人：严文材,吴忠宪,陈世伟,吴英信,薛瑞福,陈冠竹申请号：CN201310052015.8申请日：20130217公开号：CN103849841A公开日：20140611
摘要：本发明公开的一种溅射装置包括：腔室，其被配置成包含至少一个溅射靶和至少一个将被涂覆的衬底。该腔室具有限定可调孔的至少一个可调屏蔽元件。该元件设置在至少一个溅射靶和至少一个衬底之间。在面积和形状构成的组的至少一方面来调整孔。本发明还公开了一种溅射方法。
申请人：台积太阳能股份有限公司
地址：中国台湾台中
国籍：CN
代理机构：北京德恒律治知识产权代理有限公司
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