专利名称：一种离子溅射仪喷涂控制装置专利类型：实用新型专利发明人：何超,周密,秦家强申请号：CN201921803772.3申请日：20191024公开号：CN210560718U公开日：20200519
摘要：本实用新型公开了一种离子溅射仪喷涂控制装置，包括离子溅射仪本体、喷金筒、盖板、视窗筒和视窗镜，视窗筒上设置有第一按钮和第二按钮，视窗镜活动设置在视窗筒一端，视窗筒另一端伸入圆孔连接喷金筒，喷金筒活动设置在离子溅射仪本体上，盖板活动设置在喷金筒顶部，离子溅射仪本体上还设置有位于喷金筒内部的样品架，样品架包括底板、第一电机、第二电机、传动带、连接柱和样品盘，第一按钮和第二按钮分别与第一电机和第二电机电连接；本实用新型可帮助人员实现后期在使用离子溅射仪喷金时实时观察调整样品摆放状态，实现更好的喷涂。
申请人：四川大学
地址：610064 四川省成都市一环路南一段24号
国籍：CN
代理机构：成都正华专利代理事务所(普通合伙)
代理人：郭艳艳
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