专利名称：扫描电镜扫描成像的演示装置和系统专利类型：实用新型专利
发明人：杨振英,张伟,高尚,黄梦诗,马清,刘海涛,周彬,于洪涛申请号：CN202021680807.1申请日：20200811公开号：CN213277140U公开日：20210525
摘要：本申请提供了一种扫描电镜扫描成像的演示装置和系统，涉及扫描电子显微镜领域。该演示装置包括安装件、模拟样品和透光材料制成的光路模型，安装件开设有安装格，模拟样品设置于安装格内，光路模型安装于模拟样品的上方，光路模型包括用于演示电子束聚焦的上部光路和用于演示电子束偏转的下部光路，上部光路和下部光路固定连接。该演示装置不使用任何活动部件，直接将预先制造的光路模型安装在模拟样品的表面，可以直观的了解电子束的聚焦和偏转，进而能够实现直观地了解扫描电镜扫描成像的方法和原理。该演示系统能够清晰直观的演示扫描电镜扫描成像过程中大部分的部件以及部件之间的位置关系。
申请人：深圳市美信检测技术股份有限公司
地址：518108 广东省深圳市宝安区石岩街道松白公路北侧方正科技工业园研发楼1108室
国籍：CN
代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：黄燕
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