洁净室施工及验收规范

第二章 建筑装饰 第一节 一般规定 第二节 材料要求 第三节 构造与装饰要求

第四节 施工要求 第五节 装配式洁净室的安装

第三章 净化空调系统 第一节 一般规定 第二节 风管及其部件的制作

第三节 系统安装

保温施工时不得在风管壁上开孔和上螺钉，不得破坏系统的密闭性。 风阀和清扫孔的保温措施不应妨碍阀和门的开启。

第四节 高效过滤器安装 第六节 空气净化设备和装置的安装

本节未包括的或有特殊要求的设备，其安装施工及验收的技术要求，应按设备的技术文件（如说明书、装配图、技术要求等）的规定执行。 一、设备无缺件，表面无损坏和锈蚀等情况； 二、内部各部分连接牢固。

一、生物安全柜在安装搬运过程中，严禁将其横倒放置和拆卸，宜在搬入安装现场后拆开包装；

二、生物安全柜安装位置在设计未指明时应避开人流频繁处，并应避免房间气流对操作口空气幕的干扰；

三、安装的生物安全柜的背面、侧面离墙壁距离应保持在80～300mm之间。对于底面和底边紧贴地面的安全柜，所有沿地边缝应加以密封。

四、生物安全柜的排风管道的连接方式，必须以更换排风过滤器方便确定。 一、压力渗漏试验，应确认所有接缝的气密性及整个设备没有漏气； 二、高效空气过滤器的渗漏试验，应确认高效空气过滤器本身及其安装接缝处没有渗漏；

三、操作区气流速度试验，应确认整个操作区的气流速度均满足规定的要求； 四、操作口气流速度试验，应确认整个操作口的气流速度均满足规定的要求； 五、操作口负压试验，应确认通过整个操作口的气流流向均指向柜内； 六、洗涤盆漏水程度试验，应确认盛满水的洗涤盆经过1h后无漏水现象； 七、接地装置的接地线路电阻试验，应确认接地的分支线路在接线及插座处的电阻不超过规定值。

第四章 水、气、电系统

第一节 一般规定 第二节 给水排水

一、给水管道、工艺设备的冷却循环水管道宜为镀锌钢管；

二、纯水、高纯水管道为不锈钢（SUS）管、硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP）管和工程塑料（ABS）管等； 三、管道的配件应采用与管道相应的材质。

一、管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式； 二、焊接应采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺；

三、采用分段组装工艺的翻边管、三通、弯头等部件焊接时，管内应充氩气保护，使焊缝表面光滑无氧化现象；

四、管道部件的点固焊应与焊接相同，必须采取措施，防止焊缝氧化； 五、管道部件焊接后应将管内焊缝氧化物清刷冲洗掉，再用四氯化碳脱脂，然后封闭管口；

六、设计无要求时，法兰垫片宜采用聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯板。

第三节 消防设施 第四节 气体管道

一、阀门与氧气接触部分不得用可燃材料，其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯；

二、气体管道的法兰垫片应符合设计要求，材质柔软、无老化变质和分层现象，表面不应有折损和皱纹等缺陷；

三、氢、氧管道的附件、仪表及过滤器等，其材质、型号和规格应符合设计要求，并有符合该介质条件的出厂合格证书。

一、管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，输送干燥气体的管道宜水平安装；输送潮湿气体的管道应安装成有不小于0.003的坡度，坡度应坡向冷凝水收集器；

二、管道的连接采用焊接，并采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺。不锈钢管焊接或点固焊均应采取管内充氩保护措施；

三、气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采用聚四氟乙烯薄膜；

四、通过洁净室的气体管道，其法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净；

五、气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式，并在48h内分段组合安装，充入压力不小于0.2MPa的氮气保护； 六、有接地要求的气体管道，法兰间必须焊有导电跨线，其导线截面及焊接搭接长度应符合设计要求，焊点必须牢固、可靠。

一、经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前必须采取保护措施，严防二次污染；

二、管口切割后，应进行清洗，再进行分段组装焊接；

三、管道预制、分段组装作业，必须在环境清洁的条件下进行，严禁在室外露天作业；

四、分段预制或组装的管段两端应用塑料布或盲板封闭，不得污染。 一、无缝钢管安装前应清除管内外表面的铁锈、污物。管道内壁除锈应根据设计要求进行，当设计无要求时，可按其管内锈蚀情况采用一般除锈、喷砂除锈和酸洗、钝化处理；

二、氢、氧管道安装前，必须对油渍、铁锈进行除锈或酸洗后再进行脱脂处理；

三、钢管酸洗、钝化或脱脂后，应清除管内残留的溶液，并将处理合格的管道及时封闭管口；

四、脱脂后的管道、管件和垫片，安装前必须严格检查，用清洁、干燥的白色滤纸擦拭，不出现油迹为合格。

过滤器的过滤效率应满足气体管道系统工艺对尘埃的要求。

第五节 电气装置 第五章 工程验收 第一节 一般规定 第二节 竣工验收

一、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定；

二、高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封； 三、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便； 四、净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；

五、洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘；地板无静电现象；

六、送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的密封处理应可靠严密；

七、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封； 八、各种刷涂保温工程应符合有关规定。 一、通风机的风量及转数的检测； 二、风量的测定和平衡； 三、室内静压的检测调整； 四、自动调节系统联动运转； 五、高效过滤器的检漏； 六、室内洁净度级别。

第三节 综合性能全面评定

第四节 评定标准

一、乱流洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定： 1.系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%； 2.总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%； 3.室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。 二、单向流（层流）洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定： 1.实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过20%；

2.总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%。 一、相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa； 二、洁净室与室外静压差应大于10Pa；

三、洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室在开门状态下，在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。 系数t 表5.4.5

点数 t 2 6.3 3 2.9 4 2.4 5～6 2.1 7～9 1.9 10～16 1.8 17～29 1.7 ＞29 1.65 一、无恒温要求的场所，温度和相对湿度符合设计要求；

二、有恒温恒湿要求的场所：室温波动范围按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，90%以上测点达到的偏差值为室温波动范围，应符合设计要求。区域温差以各测点中最低的一次温度为基准，各测点平均温度与其偏差值的点数，占测点总数的百分

比整理成累积统计曲线，90%以上测点所达到的偏差值为区域温差，应符合设计要求。

相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。

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～1.0×1010Ω，泄漏电阻应为1.0×105～1.0×108Ω。