(12)发明专利申请
(21)申请号 CN201810972070.1 (22)申请日 2018.08.24 (71)申请人 电子科技大学
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
(10)申请公布号 CN109103182A
(43)申请公布日 2018.12.28
(72)发明人 乔明;肖家木;齐钊;何林蓉;梁龙飞;梁旦业;张波 (74)专利代理机构 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)
代理人 敖欢
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
双向ESD防护器件
(57)摘要
本发明提供一种双向ESD防护器件,包
括:P型衬底、N型外延、NTOP层、第一PWELL区、第一N+接触区、第一P+接触区、第一NTOP层、第二PWELL区、第二N+接触区、第二P+接触区、第二NTOP层,第一N+接触区、第一P+接触区通过金属短接形成金属阳极,第二N+接触区、第二P+接触区通过金属短接形成金属阴极;本发明通过在N型外延层上方引入NTOP层改变电流分布,使器件IV曲线呈现出多次snapback的特
性,提高器件在ESD脉冲电流下的鲁棒性;为避免器件发生闩锁,可以通过调整NTOP层与第一PWELL区、第二PWELL区之间的间距来调节维持电流。
法律状态
法律状态公告日
2018-12-28 2018-12-28 2019-01-22
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
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权利要求说明书
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说明书
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