一种高温晶体生长炉结构[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种高温晶体生长炉结构专利类型：实用新型专利发明人：张玉柱,杨玉春,张萌申请号：CN202020874935.3申请日：20200522公开号：CN212610984U公开日：20210226

摘要：本实用新型提供一种高温晶体生长炉结构，包括机架、装设于机架上的坩埚、装设于机架上且位于坩埚上方的加热炉和装设于机架上且位于坩埚下方的籽精杆自转机构，所述坩埚与机架之间设置有坩埚升降机构，所述加热炉与机架之间设置有炉体升降机构。利用本实用新型技术方案制作的一种高温晶体生长炉结构，改变了传统工艺中升降籽精杆的结晶方式，通过同步升降坩埚和炉体，来改变籽精杆位于坩埚内的长度，以此来进行晶体的生长，并且在能够同步升降坩埚和炉体的同时，能够对炉体单独进行升降，两者互不干扰，提高了整体机构对空间的利用率，同时，在机架上还设置有安全限位的机构，提高了整体的安全性。

申请人：天津和捷诚自动化科技有限公司

地址：300000 天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰华科一路11号B座1层101

国籍：CN

代理机构：北京沁优知识产权代理有限公司

代理人：郭娜

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