一种太赫兹双波段带阻式滤波器谐振单元及制造方法[发明专利]

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专利名称：一种太赫兹双波段带阻式滤波器谐振单元及制造方

法

专利类型：发明专利发明人：赵振宇,宋志强申请号：CN201510713514.6申请日：20151028公开号：CN105322253A公开日：20160210

摘要：本发明涉及一种太赫兹双波段带阻式滤波器谐振单元，由半绝缘砷化镓(SI-GaAs)衬底和衬底上的金属层构成，半绝缘砷化镓(SI-GaAs)衬底的厚度为625μm，金属层由依次形成在衬底上的5nm厚的钛金属层和120nm厚的金属层构成，在金属层中形成有谐振结构阵列，所述谐振结构的几何结构由一对开口方向呈镜像对称分布的”凹”字形开口谐振环(SRR)和金属线谐振条(wire)组成；所述”凹”字形开口谐振环(SRR)以金属线谐振条(wire)所在直线为对称轴，所述”凹”字形开口谐振环(SRR)以开口方向呈镜像对称分布。还提供上述滤波器谐振单元的制造方法。通过本发明加工工艺制造的谐振单元，能够对1.01THz和1.38THz两个中心频率实现-25dB的抑制，获得双波段带阻式滤波器。

申请人：上海师范大学

地址：200234 上海市徐汇区桂林路100号

国籍：CN

代理机构：上海顺华专利代理有限责任公司

代理人：陆林辉

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