专利名称：一种单向阀及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：蔡金东,宋阳阳,王新亮,胡慧珊,马硕申请号：CN202010057100.3申请日：20200119公开号：CN111120728A公开日：20200508
摘要：本发明公开一种单向阀及其制备方法，所述单向阀包括依次堆叠的第一基片层、中间层、第二基片层，其中：所述第一基片层，设置有第一开口；所述中间层，设置有单向阀体，所述单向阀体包括活塞柱结构以及被所述活塞柱结构间隔的流道，所述活塞柱结构通过活塞弹性膜片与所述中间层相连接；所述第二基片层，设置有第二开口，所述第二开口可与所述流道连通；所述活塞弹性膜片具有预应力变形。本发明的单向阀具有如下优点：(1)可以主动防止流体回流，具有响应快，流控精度高等特点；(2)结构紧凑简单、易加工、体积尺寸小，制造成本低，可大批量生产；(3)通过控制活塞柱下表面与阀体下表面高度差，来预设阀门开启阈值，可满足更多应用场景。
申请人：苏州原位芯片科技有限责任公司
地址：215000 江苏省苏州市工业园区若水路388号纳米大学科技园
国籍：CN
代理机构：北京中知法苑知识产权代理有限公司
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