石墨盘检测方法和装置[发明专利]

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 CN 109870416 A(43)申请公布日 2019.06.11

(21)申请号 201910060012.6(22)申请日 2019.01.22

(71)申请人 华灿光电（浙江）有限公司

地址 322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇

苏福路233号(72)发明人 乔楠　李昱桦　刘旺平　胡加辉　

　(74)专利代理机构 北京三高永信知识产权代理

有限责任公司 11138

代理人 徐立(51)Int.Cl.

G01N 21/25(2006.01)G01N 21/95(2006.01)G01N 29/04(2006.01)C23C 16/44(2006.01)

权利要求书2页 说明书7页 附图4页

B07C 5/38(2006.01)B07C 5/36(2006.01)B07C 5/34(2006.01)

CN 109870416 A()发明名称

石墨盘检测方法和装置(57)摘要

本发明公开了一种石墨盘检测方法和装置，属于外延技术领域。该方法包括：拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。通过上述石墨盘检测过程，能够提高后续外延生长质量，提高发光二极管的良率。

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1.一种石墨盘检测方法，其特征在于，所述方法包括：拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；

根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；

当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；

根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像，包括：

将所述石墨盘的表面分为多个区域；

依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损，包括：

显示所述石墨盘的表面图像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盘的表面是否存在破损；

或者，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损，包括：将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述石墨盘的表面是否存在破损。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差，包括：

将所述石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值；

计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；

当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定所述石墨盘的表面存在色差。

5.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率，包括：

发射超声波；

接收经过所述石墨盘反射回的超声波；

根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定所述石墨盘的反射率。6.一种石墨盘检测装置，其特征在于，所述装置包括：拍摄模块，用于拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；第一判断模块，用于根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；

第二判断模块，用于当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；

扫描模块，用于当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得

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到所述石墨盘的反射率；

分类模块，用于根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述拍摄模块，用于将所述石墨盘的表面分为多个区域；依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一判断模块，用于显示所述石墨盘的表面图像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盘的表面是否存在破损；或者，将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述石墨盘的表面是否存在破损。

9.根据权利要求6-8任一项所述的装置，其特征在于，所述第二判断模块，用于将所述石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值；计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定所述石墨盘的表面存在色差。

10.根据权利要求6-8任一项所述的装置，其特征在于，所述扫描模块，用于发射超声波；接收经过所述石墨盘反射回的超声波；根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定所述石墨盘的反射率。

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说　明　书石墨盘检测方法和装置

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技术领域

[0001]本发明涉及外延技术领域，特别涉及一种石墨盘检测方法和装置。

背景技术

[0002]石墨盘是金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD)设备中非常重要的配件，石墨盘由高纯石墨制成，并在表面镀有SiC涂层。

[0003]由于石墨盘单价较高，所以在LED外延片的正常量产过程中，石墨盘一般会循环使用。石墨盘作为衬底的载盘在单次使用完毕后，需要在烘烤(Bake)炉进行高温Bake，同时需通入N2/H2混合气，对石墨盘表面的GaN进行处理，保证石墨盘的表面SiC层没有GaN的残留，有利于外延片的正常生产。

[0004]但是在石墨盘经过高温Bake处理后，有可能出现石墨盘的表面依旧残留GaN的现象存在，也有可能随着使用的周期数增加石墨盘出现破孔，导致在这些问题石墨盘上生长出的大量的外延片性能异常。

发明内容

[0005]本发明实施例提供了一种石墨盘检测方法和装置，实现对石墨盘的检测，提高了外延片的良率。所述技术方案如下：[0006]一方面，本发明实施例提供了一种石墨盘检测方法，所述方法包括：拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。[0007]在本发明的一种实现方式中，所述拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像，包括：将所述石墨盘的表面分为多个区域；依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。

[0008]在本发明的一种实现方式中，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损，包括：显示所述石墨盘的表面图像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盘的表面是否存在破损；或者，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损，包括：将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述石墨盘的表面是否存在破损。[0009]在本发明的一种实现方式中，所述根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差，包括：将所述石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值；计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定所述石墨盘的表面存在色差。

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在本发明的一种实现方式中，所述对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨

盘的反射率，包括：发射超声波；接收经过所述石墨盘反射回的超声波；根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定所述石墨盘的反射率。[0011]另一方面，本发明实施例还提供了一种石墨盘检测装置，所述装置包括：拍摄模块，用于拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；第一判断模块，用于根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；第二判断模块，用于当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；扫描模块，用于当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；分类模块，用于根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。[0012]在本发明的一种实现方式中，所述拍摄模块，用于将所述石墨盘的表面分为多个区域；依次拍摄所述石墨盘的表面的多个区域，得到多张所述石墨盘的表面图像。[0013]在本发明的一种实现方式中，所述第一判断模块，用于显示所述石墨盘的表面图像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盘的表面是否存在破损；或者，将所述石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据所述分类器的结果确定所述石墨盘的表面是否存在破损。

[0014]在本发明的一种实现方式中，所述第二判断模块，用于将所述石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值；计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定所述石墨盘的表面存在色差。

[0015]在本发明的一种实现方式中，所述扫描模块，用于发射超声波；接收经过所述石墨盘反射回的超声波；根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定所述石墨盘的反射率。

[0016]本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：[0017]本发明实施例中，首先通过拍摄石墨盘的表面图像，来判断是否存在破损，避免破损的石墨盘所造成的外延片性能异常现象；在确定出石墨盘不存在破损后，继续根据石墨盘的表面图像判断是否存在色差，避免直接采用有色差的石墨盘所造成的外延片性能异常现象；在确定出石墨盘不存在色差后，利用超声波扫描，检测石墨盘的反射率，并根据该反射率将石墨盘进行分类，对于不存在破损和色差的石墨盘而言，反射率代表了该石墨盘的磨损程度，不同磨损程度的石墨盘在生长外延片时，外延生长设备(如MOCVD设备)中所采用的温度等采用也会不同，所以按照反射率进行分类，并在同一MOVCD中使用同一类的石墨盘，不但便于设备中外延参数的控制，而且避免了不同分类石墨盘采用同一参数生长所造成的外延片性能异常现象；综上，通过上述石墨盘检测过程，能够提高后续外延生长质量，提高发光二极管的良率。

附图说明

[0018]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他

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的附图。

[0019]图1是本发明实施例提供的一种石墨盘检测方法的流程图；[0020]图2是本发明实施例提供的另一种石墨盘检测方法的流程图；[0021]图3是本发明实施例提供的一种石墨盘分类统计示意图；

[0022]图4是本发明实施例提供的一种发光二极管测试波长命中率示意图；[0023]图5是本发明实施例提供的一种石墨盘检测装置的结构示意图。

具体实施方式

[0024]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

[0025]图1是本发明实施例提供的一种石墨盘检测方法的流程图。参见图1，该方法包括：[0026]步骤101：拍摄石墨盘的表面，得到石墨盘的表面图像。[0027]石墨盘由石墨盘本体和表面SiC涂层两部分组成，石墨盘的表面是指石墨盘用来承载的一面。

[0028]本发明实施例中石墨盘检测方法可以由一石墨盘检测设备来完成，该石墨盘检测设备包括摄像头，将石墨盘放在该检测设备的承载部，通过摄像头拍摄石墨盘的表面图像。其中，摄像头可以采用高清摄像头，以保证拍摄到的表面图像的清晰度，便于后续检测。[0029]步骤102：根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在破损。[0030]由于表面出现破损的石墨盘与表面完好的石墨盘差别很大，因此通过拍摄到的石墨盘的表面图像，很容易判断出石墨盘的表面是否存在破损。具体地判断过程可以由检测设备自行完成，也可以由人工来完成。[0031]这里，检测设备自行完成是指，检测设备中的处理器根据表面图像进行图像识别或者图像分类，进而判断是否存在破损。人工完成是指，检测设备的显示器输出表面图像，并接收人工输入的指令，该指令用于指示是否存在破损。[0032]步骤103：当石墨盘的表面不存在破损时，根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在色差。

[0033]在步骤101中拍摄到的石墨盘的表面图像除了可以用来判断是否出现破损外，还可以用来判断是否存在色差。如果石墨盘的表面出现明显色差，可能是表面的SiC涂层上仍然残留有GaN，这样的石墨盘在外延加工时各个部分的热传递可能不均匀，影响外延片的质量。因此，除了要检测石墨盘是否破损外，还需要检测是否存在色差，避免这两种石墨盘直接使用造成的外延片质量问题。

[0034]而如果石墨盘的表面存在破损，则无需执行该步骤直接报废该石墨盘即可。[0035]步骤104：当石墨盘的表面不存在色差时，对石墨盘进行超声波扫描，得到石墨盘的反射率。

[0036]在石墨盘不存在破损和色差时，检测石墨盘的表面反射率，以确定不同石墨盘的磨损状态，实现石墨盘的分类使用。

[0037]前述石墨盘检测设备上除了集成有摄像头外，还集成有超声波扫描装置，通过该超声波扫描装置，实现对石墨盘表面的反射率检测。[0038]另外，如果石墨盘的表面存在色差，则说明石墨盘的表面残留有GaN，需要烘烤进

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行去除。

[0039]步骤105：根据石墨盘的反射率对石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类石墨盘进行外延生长。

[0040]在完成了反射率的检测后，检测设备可以根据检测到石墨盘的反射率对石墨盘进行分类，将同一反射率范围的石墨盘分为一类，在同一外延生长设备中使用同一类型的石墨盘，这样在进行外延生长时，便于生长参数(温度、压力)等的控制，而且避免了不同分类石墨盘采用同一参数生长所造成的外延片性能异常现象。[0041]本发明实施例中，首先通过拍摄石墨盘的表面图像，来判断是否存在破损，避免破损的石墨盘所造成的外延片性能异常现象。在确定出石墨盘不存在破损后，继续根据石墨盘的表面图像判断是否存在色差，避免直接采用有色差的石墨盘所造成的外延片性能异常现象。在确定出石墨盘不存在色差后，利用超声波扫描，检测石墨盘的反射率，并根据该反射率将石墨盘进行分类，对于不存在破损和色差的石墨盘而言，反射率代表了该石墨盘的磨损程度，不同磨损程度的石墨盘在生长外延片时，外延生长设备(如MOCVD设备)中所采用的温度等采用也会不同，所以按照反射率进行分类，并在同一MOVCD中使用同一类的石墨盘，不但便于设备中外延参数的控制，而且避免了不同分类石墨盘采用同一参数生长所造成的外延片性能异常现象。综上，通过上述石墨盘检测过程，能够提高后续外延生长质量，提高发光二极管的良率。

[0042]图2是本发明实施例提供的另一种石墨盘检测方法的流程图。参见图2，该方法包括：

[0043]步骤201：拍摄石墨盘的表面，得到石墨盘的表面图像。[0044]石墨盘由石墨盘本体和表面SiC涂层两部分组成，石墨盘的表面是指石墨盘用来承载的一面。

[0045]本发明实施例中石墨盘检测方法可以由一石墨盘检测设备来完成，该石墨盘检测设备包括摄像头，将石墨盘放在该检测设备的承载部，通过摄像头拍摄石墨盘的表面图像。其中，摄像头可以采用高清摄像头，以保证拍摄到的表面图像的清晰度，便于后续检测。[0046]在本发明实施例中，该步骤可以包括：将石墨盘的表面分为多个区域；依次拍摄石墨盘的表面的多个区域，得到多张石墨盘的表面图像

[0047]通过表面图像判断石墨盘是否存在破损和色差时，表面图像清晰度越高，判断越准确，因此，除了前面提到的采用高清摄像头外，还可以分区域拍摄图像，这样能够保证石墨盘的表面的各个区域的图像均能够清晰，便于后续判断。[0048]这里的分区域拍摄是指，在拍摄过程中，连续移动摄像头，通过连续移动摄像头，每次拍摄石墨盘表面的一个部分的图像，得到多张石墨盘的表面图像。这多张石墨盘的表面图像组成完整的石墨盘图像。[0049]步骤202：根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在破损。当石墨盘的表面不存在破损时，执行步骤203。当石墨盘的表面存在破损时，报废该石墨盘。

[0050]由于表面出现破损(如破孔等)的石墨盘与表面完好的石墨盘差别很大，因此通过拍摄到的石墨盘的表面图像，很容易判断出石墨盘的表面是否存在破损。具体地判断过程可以由检测设备自行完成，也可以由人工来完成。[0051]这里，检测设备自行完成是指，检测设备中的处理器根据表面图像进行图像识别

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或者图像分类，进而判断是否存在破损。人工完成是指，检测设备的显示器输出表面图像，并接收人工输入的指令，该指令用于指示是否存在破损。具体地，该步骤可以包括：显示石墨盘的表面图像。接收人工操作指令，人工操作指令用于指示石墨盘的表面是否存在破损。或者，将石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据分类器的结果确定石墨盘的表面是否存在破损。

[0052]如果采用分类器检测表面是否破损，则该方法还可以包括：通过多张存在破损的表面图像和多张不存在破损的表面图像，进行分类器训练，使得训练得到的分类器能够进行表面图像的分类，根据分类结果可以判断石墨盘的表面是否存在破损。[0053]进一步地，该步骤在根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在破损时，如果前面的表面图像包括多张，则需要依次对每一张进行判断，当任一张的判断结果为存在破损时，则该步骤中的判断结果为存在破损；如果所有表面图像的判断结果均为不存在破损，则该步骤中的判断结果为不存在破损。[00]步骤203：根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在色差。当石墨盘的表面不存在色差时，执行步骤205。当石墨盘的表面存在色差时，执行步骤204。

[0055]在步骤201中拍摄到的石墨盘的表面图像除了可以用来判断是否出现破损外，还可以用来判断是否存在色差。如果石墨盘的表面出现明显色差，可能是表面的SiC涂层上仍然残留有GaN，这样的石墨盘在外延加工时各个部分的热传递可能不均匀，影响外延片的质量。因此，除了要检测石墨盘是否破损外，还需要检测是否存在色差，避免这两种石墨盘直接使用造成的外延片质量问题。[0056]在本发明实施例中，该步骤可以包括：将石墨盘的表面图像分为多个区域；计算每个区域的平均灰阶值；计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值；当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定石墨盘的表面存在色差。[0057]例如将石墨盘的表面图像分为预定数量的区域，然后计算各个区域的平均灰阶值，根据平均灰阶值判断是否存在色差。[0058]进一步地，该步骤在根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在色差时，如果前面的表面图像包括多张，则需要依次对每一张进行判断，当任一张的判断结果为存在色差时，则该步骤中的判断结果为存在色差；如果所有表面图像的判断结果均为不存在色差，则该步骤中的判断结果为不存在色差。[0059]可选地，该步骤和检测破损一样，也可以通过人工完成，即该方法可以包括：显示石墨盘的表面图像；接收又一人工操作指令，该人工操作指令用于指示石墨盘的表面是否存在色差。

[0060]步骤204：将石墨盘放入烘烤炉重新烘烤。[0061]通过烘烤除去石墨盘表面的GaN，烘烤完成后，重新执行步骤201。[0062]进一步地，该方法还包括：记录该石墨盘烘烤的次数，当石墨盘烘烤的次数超过阈值时，报废该石墨盘。如果多次烘烤仍然不能去除GaN，则说明该石墨盘已经损坏，直接报废，避免重复检测和烘烤浪费人力物力。[0063]步骤205：对石墨盘进行超声波扫描，得到石墨盘的反射率。[00]在石墨盘不存在破损和色差时，检测石墨盘的表面反射率，以确定不同石墨盘的磨损状态，实现石墨盘的分类使用。

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前述石墨盘检测设备上除了集成有摄像头外，还集成有超声波扫描装置，通过该

超声波扫描装置，实现对石墨盘表面的反射率检测。[0066]在本发明实施例中，该步骤可以包括：发射超声波；接收经过石墨盘反射回的超声波；根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定石墨盘的反射率。[0067]其中，根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定石墨盘的反射率可以包括：将返回的超声波的强度除以发射的超声波的强度，得到石墨盘的反射率。这里的反射率只需要是一个相对值，能够将反射率相近的石墨盘分成一类即可。[0068]步骤206：根据石墨盘的反射率对石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类石墨盘进行外延生长。[0069]进一步地，在步骤201进行拍摄图像时可以为每个石墨盘设置一个标识，在完成步骤201-206后，得到一个石墨盘分类表，该表中包括各分类下的石墨盘的标识。[0070]在完成了反射率的检测后，检测设备可以根据检测到石墨盘的反射率对石墨盘进行分类，将同一反射率范围的石墨盘分为一类，在同一外延生长设备中使用同一类型的石墨盘，这样在进行外延生长时，便于生长参数(温度、压力)等的控制，而且避免了不同分类石墨盘采用同一参数生长所造成的外延片性能异常现象。

[0071]图3是本发明实施例提供的一种石墨盘分类统计示意图，横坐标为反射率，纵坐标为各个分类所占的百分比，石墨盘反射率越低，表示磨损程度越低，可以看出反射率处于0-0.2、0.2-0.5两个分类的石墨盘最多。按照这种分类，可以在同一外延生长设备中使用同一类型的石墨盘。

[0072]下面结合附图4对本发明实施例提供的石墨盘检测方法的效果进行说明。[0073]图4是本发明实施例提供的一种发光二极管测试波长命中率示意图，参见图4，横坐标为时间(例如w48表示第48周，依此类推)，纵坐标为5nm的命中率(也即5nm波长的芯片的合格率)，可以看出在采用该方法后，采用该方法检测的石墨盘制作的外延片形成的发光二极管的命中率呈现逐渐增高的趋势，说明采用该方法检测石墨盘，能够提高后续使用石墨盘进行外延生长得到的晶体的质量。

[0074]图3是本发明实施例提供的一种石墨盘检测装置的结构示意图。参见图3，该装置包括：拍摄模块301、第一判断模块302、第二判断模块303、扫描模块304和分类模块305。[0075]其中，拍摄模块301用于拍摄石墨盘的表面，得到石墨盘的表面图像。第一判断模块302用于根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在破损。第二判断模块303用于当石墨盘的表面不存在破损时，根据石墨盘的表面图像判断石墨盘的表面是否存在色差。扫描模块304用于当石墨盘的表面不存在色差时，对石墨盘进行超声波扫描，得到石墨盘的反射率。分类模块305用于根据石墨盘的反射率对石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类石墨盘进行外延生长。

[0076]在本发明的一种实现方式中，拍摄模块301，用于将石墨盘的表面分为多个区域。依次拍摄石墨盘的表面的多个区域，得到多张石墨盘的表面图像。[0077]在本发明的一种实现方式中，第一判断模块302用于显示石墨盘的表面图像。接收人工操作指令，人工操作指令用于指示石墨盘的表面是否存在破损。或者，将石墨盘的表面图像输入预定的分类器，根据分类器的结果确定石墨盘的表面是否存在破损。[0078]在本发明的一种实现方式中，第二判断模块303用于将石墨盘的表面图像分为多

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个区域。计算每个区域的平均灰阶值。计算任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值。当存在任意两个相邻区域的平均灰阶值的差值大于阈值时，确定石墨盘的表面存在色差。[0079]在本发明的一种实现方式中，扫描模块304用于发射超声波。接收经过石墨盘反射回的超声波。根据发射的超声波的强度和反射回的超声波的强度，确定石墨盘的反射率。[0080]需要说明的是：上述实施例提供的石墨盘检测装置在进行石墨盘检测时，仅以上述各功能模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能模块完成，即将设备的内部结构划分成不同的功能模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。另外，上述实施例提供的石墨盘检测装置与石墨盘检测方法实施例属于同一构思，其具体实现过程详见方法实施例，这里不再赘述。[0081]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

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