专利名称：防止晶圆破碎的阻挡装置专利类型：实用新型专利发明人：查源卿,马成伟申请号：CN200720066225.2申请日：20070111公开号：CN201004456Y公开日：20080109
摘要：本实用新型涉及半导造技术领域，公开了一种防止晶圆破碎的阻挡装置，所述阻挡装置内设有气缸，该气缸的开口处设有活塞，且该活塞内侧的气缸中设有使活塞恢复位置的弹簧，在该弹簧所占位置的气缸侧边还开设有出气小孔。本实用新型的阻挡装置，能有效阻止第一运动部件和第二运动部件的强烈碰撞，使晶圆不再因移位而摔碎。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海浦一知识产权代理有限公司
代理人：周赤
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