一种刻蚀设备[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种刻蚀设备专利类型：发明专利发明人：黄雷

申请号：CN201810037588.6申请日：20180116公开号：CN108109946A公开日：20180601

摘要：本发明涉及了一种刻蚀设备，其特征在于，包括：机架，在该机架上设置有承载装置，用来承载晶圆或印制线路板。在该承载装置的下方设置有刻蚀装置和清洗装置，两者均可左右移动，且同步联动。刻蚀装置包括刻蚀刀及刻蚀液泵；清洗装置包括清洗刀及清洗液泵。刻蚀刀和清洗刀完全掠过晶圆或印制线路板的下表面，且在两者顶部上分别设置有第一窄缝、第二窄缝。这样一来，清洗液由下向上喷射，能有效地缩短蚀刻液在晶圆或印制线路板预处理面的滞留时间，尽可能地减少了水池效应，从而保证了线路蚀刻的精度及准确性。再者，借助该刻蚀设备可在同一工位上先后对晶圆或印制线路板进行刻蚀和清洗操作，保证工序的连贯性。

申请人：昆山成功环保科技有限公司

地址：215300 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房

国籍：CN

代理机构：苏州华博知识产权代理有限公司

代理人：黄珩

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