晶圆位置的检测装置[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：晶圆位置的检测装置专利类型：发明专利

发明人：梁昕,陶鹏,穆建锋,王张龙,葛杰申请号：CN201010275156.2申请日：20100901公开号：CN102386117A公开日：20120321

摘要：一种晶圆位置的检测装置，包括：发射单元、接收单元和控制单元；所述发射单元、接收单元设置于晶圆真空检测室的内部传送门上，所述发射单元配置为发射第一信号；所述接收单元配置为当晶圆位置未处于检测区域时接收所述发射单元发射的第一信号，并于接收到所述第一信号后产生并传送第二信号给所述控制单元；所述控制单元配置为在预定时间间隔内未接收到所述接收单元传送的第二信号时控制所述内部传送门保持开启状态。本发明能够实现对晶圆真空检测室中的晶圆位置进行检测，避免因晶圆位置的偏差而使晶圆报废，更保证了生产线的正常运行。

申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江路18号

国籍：CN

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：骆苏华

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