TFT基板及其制作方法

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201711140087.2 （22）申请日 2017.11.16

（71）申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

地址 518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

（10）申请公布号 CN107799466B

（43）申请公布日 2020.04.07

书

（72）发明人 徐洪远

（74）专利代理机构 深圳市德力知识产权代理事务所

代理人 林才桂

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

TFT基板及其制作方法

（57）摘要

本发明提供一种TFT基板及其制作方法。

该TFT基板的制作方法先在TFT上连续沉积金属薄膜与透明导电薄膜；再在透明导电薄膜上涂布光阻，并使用半色调掩膜板对光阻进行曝光、显影，得到第一光阻层与第二光阻层；然后蚀刻未被第一光阻层与第二光阻层所遮盖的透明导电薄膜与金属薄膜；接着对第一光阻层与第二光阻层进行灰化处理，去除第二光阻层；之后对裸露的透明导电薄膜进行蚀刻，暴露出未被剩余的第一

光阻层所遮盖的金属薄膜；再对暴露出来的金属薄膜进行氧化处理，形成绝缘的金属氧化物薄膜作钝化层；最后剥离剩余的第一光阻层，暴露出被剩余的第一光阻层所遮盖的金属薄膜与透明导电薄膜作像素电极；能够减少光罩数量，节省制作成本。

法律状态

法律状态公告日2018-03-13 2018-03-13 2018-03-13 2018-04-06 2018-04-06 2020-04-07

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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